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- アルミ蒸着膜のエッチング液について
Al蒸着膜をフォトリソグラフィーでエッチングしたいのですが、エッチング液は何を使ったらよいのでしょうか？ Al膜は抵抗加熱蒸着で成膜し、膜厚は1ミクロンぐらいです。 アンダーカットは極力小さくしたいです。 塩酸では反応が進まず（表面の酸化膜のためかもしれません）、硝酸を1/4～1/3混ぜたところ、Al膜がフォトマスクごと全部はがれてしまいました。 どなたか、お知恵を拝借ください。